 吴德馨[中国科学院院士、半导体器件和集成电路专家]+像 河北唐山市乐亭县人物 吴德馨，女，1936年12月20日出生于河北乐亭县，半导体器件和集成电路专家，中国科学院学部委员，中国科学院微电子所研究员。 吴德馨，1936年12月20日出生于河北省乐亭县，是我国著名的半导体器件和集成电路专家，中国科学院院士。以下是她的生平介绍： 早年经历 吴德馨出生在乐亭的一个普通家庭，在她一岁时全家迁至天津。早年丧父的她，在母亲开明教育的影响下，形成了善于独立思考、行为果敢的性格。随着年龄增长，她对数理化产生了浓厚兴趣，学习成绩也越来越好。1955年，吴德馨以优异成绩考入清华大学无线电电子学系半导体专业，师从李志坚院士，在读期间两次获得学习成绩优良奖状。1961年，她从清华大学毕业，成为该校第一批半导体专业的毕业生。 科研生涯 早期研究与重要突破（20世纪60 - 70年代）：毕业后，吴德馨被分配到中国科学院半导体研究所工作，与王守武、王守觉、林兰英、李志坚等科学巨匠共事，得到了王守武院士的悉心指导。在半导体所工作期间，她作为课题负责人承担了“平面型高速开关晶体管的研究”，独立自主地解决了提高开关速度的关键问题，开关速度达到当时国际同类产品水平。该技术在109厂和上海器件五厂进行了推广，打破了西方国家对我国的封锁，为“两弹一星”中采用的109丙机提供器件基础，获全国新产品一等奖。此外，她还开发成功抗辐照的介质隔离、金属化互连技术和双极型触发器电路以及结型场效应和双极型集成高阻抗运算放大电路，有力支撑了国防工业的发展。 - 1978年，吴德馨入选中国科学院首批访美考察团，赴美国GCA Stepper公司考察，这让她有机会接触到国际先进的半导体技术，为她后续的研究工作提供了新的思路和方向。 集成电路工艺研究与创新（20世纪80年代）：1983—1984年，吴德馨先后在美国罗彻斯特大学与康奈尔大学任访问学者，深入学习国际半导体前沿技术。1986年，她调任中国科学院微电子中心任副主任、研究员。在此期间，她参与了MOS LSI设计与工艺技术研究，负责读出灵敏放大电路和缓冲器的电路和版图的设计。作为主要负责人从事N沟MOS 4k、16k和64k动态随机存储器（DRAM）的工艺研究，首次在国内研究成功4K、16K位DRAM，用一年时间完成了当时国际上需要3年才能完成的工作。她开发成功双层多晶硅和差值氧化工艺，独创了检验接触孔质量的露点检测法，有效提高了LSI成品率，打破了我国大规模集成电路成品率长期低下的局面，该技术推广到上海器件五厂，为我国集成电路的工业生产奠定了基础。此外，她还研究成功1微米CMOS全套工艺与专用和半专用集成电路，研究开发了系列功率VDMOS器件。 领导工作与科研并进（20世纪90年代）：1991年，吴德馨担任中国科学院微电子中心主任。她带领全中心同志克服重重困难、大胆改革、努力创新，积极探索新的科研和开发领域，使科研成果和产品开发等效益不断增加，开创了微电子中心发展的新局面。同年11月，她当选中国科学院学部委员（院士），但仍投身科研一线。这一时期，她领导开发了0.8微米CMOS全套工艺。她赴美与某公司领导和技术人员进行谈判，凭借专业知识和流利的英语在竞争中获胜，顺利签订合作协议。她还主持了109厂进口设备的安装调试、工艺和产品的开发，率领同志们进行了生产技术研究，极大提升了产品附加值。此外，吴德馨作为国家攀登计划首席科学家负责“深亚微米结构器件及介观物理”项目研究，开展了12项课题研究，总评为优秀，为介观物理基础和新结构器件的进一步研究打下坚实的基础。 持续探索与新领域拓展（1998年 - 至今）：1998年以后，吴德馨主要从事化合物半导体器件和集成电路的研究，包括0.1微米砷化镓/铝镓砷异质结高迁移率场效应晶体管、砷化镓/铟镓磷HBT晶体管，氮化镓/铝镓氮异质结场效应功率晶体管等。她在国内首次研制成功全功能砷化镓/铟镓磷HBT 10Gbps光纤通信光发射驱动电路，在国内率先提出了利用MEMS结构实现激光器和光纤的无源耦合，并进行技术研发提高了耦合的合格率。目前，她仍在从事砷化镓微波集成电路和光电模块的研究，为我国半导体事业的发展继续贡献着自己的力量。 社会兼职 吴德馨曾担任过众多重要的社会职务，包括国家重大科技攻关课题负责人、攀登计划首席科学家、国家重大基础研究顾问专家组成员、中科院学部主席团成员、中国电子学会常务理事、半导体与集成技术分会主任等。同时，她还是第九届、十届全国人大常委会委员和教科文卫委员会委员。在这些岗位上，她认真履行职责，积极建言献策，多次向中央领导汇报微电子技术的发展趋势并提出建议，多次参加国家和中国科学院发展规划的制定和主持执笔两院院士对国家集成电路发展咨询报告的撰写等工作，有力推动了我国半导体事业的发展。 个人荣誉 吴德馨在科研领域取得了丰硕的成果，获得了众多荣誉。除了前面提到的全国新产品一等奖、中科院科技成果一等奖、中科院科技进步一等奖、国家科技进步二等奖等科研奖项外，她还在1992年被评为全国“三八”红旗手、“九五”国家重大科技攻关先进个人，2004年获何梁何利技术科学奖。 家庭生活 吴德馨的家庭生活也与她的科研事业紧密相连。1966年，她与时为中国科学院半导体研究所科研人员的王圩院士结为伉俪。两人在科研道路上相濡以沫、携手并肩，共同为我国的半导体事业奋斗。生活中的吴德馨勤俭朴素、乐观开朗，她经常亲手缝制和修补孩子们的衣服，被称为“业余裁缝”。她还酷爱旅行，退休后时常与爱人一起旅行，饱览祖国的大好河山。此外，她尊敬师长，坚持与老师王守武先生一家共度新年。 人才培养 吴德馨从教以来先后培养了10余名学生，他们如今已分布在世界各地，成为各自岗位的行家里手和单位的骨干力量。其中包括中国科学院微电子研究所副所长刘新宇研究员，中国科学院院士、微电子所微电子器件与集成技术重点实验室主任刘明研究员，微电子所高频高压器件与集成研发中心副主任刘洪刚研究员等，他们都是微电子所科研和管理工作的中坚力量，为我国半导体事业的发展注入了新的活力。 吴德馨院士用自己的一生诠释了对半导体事业的热爱和执着。她的科研成果为我国半导体产业的发展奠定了坚实的基础，她的敬业精神和高尚品德也为后人树立了榜样。 |
